一、引言
ESD(Electrostatic Discharge)即“靜電放電”或稱“靜電泄放”。從事電子產(chǎn)品硬件設(shè)計和生產(chǎn)工藝的工程師都應(yīng)該要理解和掌握 ESD 的相關(guān)知識。
隨著科技的發(fā)展,電子產(chǎn)品越來越要求體積小、輕量化、低功耗、高性能,這就要求集成電路越來越精細(xì)、越來越復(fù)雜。而靜電對集成電路的破壞卻因其越來越高的集成度而變得更加容易。
二、ESD基本原理
2.1 靜電如何產(chǎn)生
眾所周知,孤立的物體本身是中性的。當(dāng)兩種不同材質(zhì)的物體相互接觸時,由于各自原子核對其最外圍的自由電子的吸引力強(qiáng)弱不同,外圍電子就會轉(zhuǎn)移到引力較大的物體一方。當(dāng)接觸后分離,就會使其中之一的物體表面帶上更多的負(fù)電荷(-),另一物體表面則呈現(xiàn)帶上正電荷(+)。這種在物體表面處于“相對穩(wěn)定狀態(tài)”的電荷(在沒有移動通道、即不會形成電流的時候),就是“靜電”。
這種通過接觸分離方式產(chǎn)生靜電的典型例子就是摩擦起電。人體行走、穿脫毛衣、滾輪傳動、氣體/液體噴射、撕包裝膠帶、攪拌。。。。。。都會產(chǎn)生靜電。
另外,當(dāng)導(dǎo)體受到外部電場影響,導(dǎo)體上的自由電子將在電場的作用下發(fā)生定向移動,使導(dǎo)體中的電荷重新分布以抵消外部電場的作用,從而在導(dǎo)體兩端“感應(yīng)”出帶正電荷和負(fù)電荷的靜電。
高能輻射、超高溫等極端條件下造成電子溢出也會產(chǎn)生靜電。
簡而言之,當(dāng)物體表面出現(xiàn)不平衡電子,由不足或過剩的電子總量決定了表面電荷量,電子不足則帶正電,電子過剩則帶負(fù)電。電荷保持在“靜止”狀態(tài)下是安全的(注:這里“靜止”只是形象的說法,并非停止運(yùn)動)。
在物體表面處于“相對穩(wěn)定狀態(tài)”的電荷是由于自由電子數(shù)量的不平衡(不足或過剩)造成的,從而相對另一物體(或大地、或?qū)w的另一端)產(chǎn)生了一定的靜電電勢(電位差、電壓)。在日常生產(chǎn)生活中靜電無處不在,其靜電電壓可以高達(dá)幾千上萬伏甚至數(shù)十萬伏。通常人體皮膚能感知到靜電時其電壓在2000~3000V,能聽見時的靜電電壓高達(dá)5000V,能看見時的靜電電壓高達(dá)10000V以上,例如冬季夜晚脫毛衣時會看見火星四濺,伴隨著噼啪的響聲。下表為人體活動產(chǎn)生的典型的靜電電壓(V),請注意空氣濕度對靜電電荷積聚/耗散的影響。
人體活動 | 靜電電勢/靜電電壓 | |
(空氣相對濕度10~20% ) | (空氣相對濕度65~90%) | |
在地毯上走動 | 35000 | 1500 |
在聚乙烯地板上走動 | 12000 | 250 |
在工作臺上工作 | 6000 | 100 |
拿聚乙烯纖維包 | 7000 | 600 |
從工作臺拿起聚乙烯襯墊 | 20000 | 1200 |
坐在填有聚氟脂泡膜的椅子上 | 18000 | 15000 |
2.2 靜電放電
當(dāng)這些靜電電荷在不同靜電電勢的物體或表面之間發(fā)生轉(zhuǎn)移時的過程,即稱為“靜電放電”或“靜電泄放”。ESD可分為接觸放電和介質(zhì)擊穿放電。冬天用手觸碰水龍頭或金屬門把手、甚至兩人握手觸碰瞬間感覺觸電就是一種接觸放電,而雷雨天的閃電則是一種極其強(qiáng)烈的介質(zhì)擊穿放電。
三、ESD的危害
世界范圍內(nèi)因靜電放電導(dǎo)致的重大事故如加油站爆炸、石化廠爆炸、火災(zāi)等不在少數(shù)。更多的對電子產(chǎn)品設(shè)備及電子元器件造成的損害卻往往被人們漠不關(guān)心,甚至毫無覺察,然而每年由此造成的經(jīng)濟(jì)損失可能高達(dá)上百億美金,不亞于數(shù)萬個加油站爆炸造成的損失。
體積小、功耗低、高性能的集成電路是電子工業(yè)發(fā)展的基本要求。隨著半導(dǎo)體以”摩爾定律”不斷提高的集成度,元器件越來越精細(xì)復(fù)雜,增厚氧化膜,提高其耐壓性,顯然是行不通的。因此在器件的集成度要求越來越高的趨勢下,通常將器件氧化膜做得越來越薄使其尺寸減少,器件的耐壓也隨之降低,對靜電也更為敏感脆弱。
半導(dǎo)體器件,特別是集成電路,根據(jù)其種類不同承受靜電耐壓的程度也不一樣。各種工藝類型半導(dǎo)體器件的靜電敏感性列表如下:
器件類型 Device Type | 靜電敏感度(V) Threshold Susceptivity(Volts) |
MOSFET | 10-100 |
VMOS | 30-1800 |
NMOS | 60-100 |
GaAsFET | 60-2000 |
EPROM | 100+ |
CMOS | 200-3000 |
GaAsFET | 25-50 |
JFET | 140-7000 |
SAW | 150-500 |
Op-AMP | 190-2500 |
Schotky Diodes | 300-2500 |
Film Resistors | 300-3000 |
Bipolar Resistors | 300-7000 |
ECL | 500+ |
SCR | 500-1000 |
Schottky TTL | 500-2500 |
SSD(Static Sensitive Device-靜電敏感器件)的分級方法有多種,根據(jù)國家軍用標(biāo)準(zhǔn)GJB1649-93《電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱》的分級方法。
l 靜電敏感度介于0~1990V的元器件為1級;
l 介于2000~3999V的元器件為2級;
l 介于4000~15999V的為3級;
l 靜電敏感度為16000v或16000v以上的元器件、組件和設(shè)備被認(rèn)為是非靜電敏感產(chǎn)品。
按元器件類型的列出部分SSD的分級(1級)如下表(原表17.3)。
級別和靜電敏感度范圍 | 元器件類型 |
1級 0 – 1999V | 微波器件(肖特基勢壘二極管、點(diǎn)接觸、二極管等) 離散型MOSFET器件 聲表面波(SAW)器件 結(jié)型場效應(yīng)晶體管(JFET) 電耦合器件(CCD) 精密穩(wěn)壓二極管(加載電壓穩(wěn)定度<0.5%) 運(yùn)算放大器(OPAMP) 薄膜電阻器 MOS集成電路(IC) |
通常來說,在產(chǎn)品應(yīng)用的半導(dǎo)體元器件中,運(yùn)放、功率器件、光器件、光模塊、大規(guī)模集成電路、高速器件、射頻器件容易受到ESD損傷。
對于電子產(chǎn)品及元器件而言,靜電造成的可能損害有以下幾個方面。
(1) 吸附灰塵,絕緣下降,影響產(chǎn)品的性能及壽命;
(2) 因靜電電場造成電磁干擾,導(dǎo)致設(shè)備運(yùn)行過程中斷(數(shù)據(jù)不良、軟件錯誤、校準(zhǔn)失誤、處理器停止運(yùn)作)或誤動作;
(3) 因靜電泄放損傷元器件,影響其正常性能及壽命,甚至完全損壞。
電子產(chǎn)品的全生命周期過程,甚至從電子元器件制造出品、上線焊裝、整機(jī)調(diào)測、包裝運(yùn)輸直至產(chǎn)品應(yīng)用都處在靜電的威脅之下。根據(jù)RAC(美國國防部可靠性分析中心)早期的統(tǒng)計,在所有硬件故障中,元器件ESD失效率占15%,而高靜電敏感的元器件EOS/ESD失效率高達(dá)60%左右。
四、靜電的另一面
當(dāng)然,任何事物都具有兩面性,靜電可能對人們的生產(chǎn)生活造成危害,但是也有不少益處和應(yīng)用,如人們利用靜電技術(shù)應(yīng)用在除塵、印花、噴涂、植絨、分選、淡化海水、噴灑農(nóng)藥、人工降雨、低溫冷凍、宇宙飛船加料等工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)與生活方面。